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IV-CV半导体特性测试4200

文章出处:吉时利  作者:admin  人气:

测试速度提高两倍,助力探索创新

4200A-SCS 是一个模块化、可定制、高度一体化的参数分析仪,可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块,可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换,而无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是最高性能的分析仪,可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。
 

功能及特点:
 

特点

优势

将源测量单元、C-V 单元和超快脉冲 I-V 单元无缝结合的一体化系统

快速、清晰和准确地执行 I-V 特性分析、交流阻抗测量、波形捕获和瞬态 I-V 测量

Clarius™ 基于 GUI 的软件,支持触摸或鼠标控制

高级测试定义、参数分析、图形绘制和自动化功能,实现清晰、卓越的测量和分析

内置上下文相关的测量视频和 450 多种应用测试

快速启动测试及提供测量帮助和故障排除向导

I-V 源测量单元 (SMU)

±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模块,100 fA 测量分辨率,以及带可选前放的 0.1 fA 测量分辨率

C-V 多频率电容单元 (CVU)

交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t),1 kHz – 10 MHz 频率范围

I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

在 I-V 和 C-V 测量之间轻松切换或将 C-V 测量移至任何终端,而无需重新布线或抬起探针

脉冲式 I-V 超快脉冲测量单元 (PMU)

两个独立或同步的高速脉冲式 I-V 源和测量通道;200 MSa/s,5 ns 采样率;利用可选的前放将电流灵敏度扩大到几十皮安

高电压脉冲发生器单元 (PGU)

两通道高速脉冲电压源;±40 V (80 V p-p),±800 mA

可完全定制和升级

现在或以后均可根据需要随时添加模块


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